上海科技大学公共超净平台是学校开展半导体器件工艺及其交叉学科研究的重要创新平台。本超净室主要为III-V族,III-Nitride,SiGe等无机半导体材料和相关新型器件提供研究和制造平台。公共超净平台的建设目的是为了促进纳米科学技术、半导体技术、光电子技术的基础研究和发展,以及能源、信息、材料、医疗、环境等领域多学科交叉研究。通过3-5年持续的发展和建设,将逐步建立起条件优良,功能齐全,管理规范,先进高效的优质资源公用系统和共享机制,建设成适应于当前以及未来器件工艺研发所需要的基础支撑体系。公共超净平台属于上科大公共科研平台,委托信息学院筹建并先期管理。其中,电子束曝光机(EBL)是平台大型核心设备,工艺工序复杂性和技术性要求高,需要专岗进行工艺创新与操作、设备管理与维护。

岗位名称:电子束曝光机(EBL)工艺工程师

岗位人数:1

岗位职责

1)负责娴熟操作与使用包含但不限于电子束曝光机、扫描电子显微镜、匀胶机、化学通风柜、甩干机等实验设备及装置;

2)负责完善与电子束曝光工艺流程(曝光、匀胶、显影、坚膜等)相关的工艺规范制订与执行,研究工艺参数与条件对实验结果的影响趋势或规律;

3)具备对特殊图形的电子束光刻工艺技巧,负责设计制定曝光工艺优化方案、优化工艺窗口、改善工艺能力;对新进工艺工程师或工艺技术员执行培训方案,以及后台用户预约的管理;

4)负责日常电子束曝光工艺问题处理,完成分析报告并及时完成相关文件;

5)负责电子束曝光工艺相关的必备耗材与工具清单,并实行保管和管理;

6)负责PM电子束曝光机,建立健全设备管理制度、维护保养制度,做好设备技术资料的形成、积累、整理、归档工作;

7)负责编制年//月度/周仪器设备的预检计划、设备大修计划,备品备件制造和供应计划;

8)帮助和培训学生以及其他科研工作人员使用曝光工艺相关的设备与仪器;

9)辅助微纳制造实验课程的制定和开设;

10)其他上级交待的相关工作。

岗位要求

1)具有微电子,光电子,材料或者物理等领域的本科学历及以上;

2)具备电子束曝光机使用和维护经历1年以上,参与过EBL设备的采购技术谈判经历者优先考虑;

3)具有丰富的器件工艺的经历(研究生的在校科研经历也适用),具备计算机辅助制图以及制作光刻版图形的能力;

4)对半导体器件,光电子器件的工作原理和测试有基本的了解;

5)具有良好的团队合作精神,善于沟通;

6)能够阅读相关专业的英语文献及具备英文写作能力;

7)具有良好的协调沟通能力、管理能力和学习能力、以及团队合作精神。

工作条件与工资待遇

按照上海科技大学相关规定执行,根据个人具体情况,提供具有竞争力的薪酬、津贴和福利。

应聘方式

请应聘者填写完整的应聘材料,通过上海科技大学人才招聘系统提交应聘申请,不接受现场应聘。

应聘投递简历时请注明来源“高校职聘网”
0571-87853702
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